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技術簡介
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技術特點
超潔凈氣體傳輸柜設計技術
我司具有豐富的超潔凈氣體傳輸柜設計經驗，覆蓋80%以上半導體前道工藝干法制程氣體傳輸柜。自主開發智能化設計平臺，顛覆傳統設計模式，使Gasbox設計標準化、模塊化，通過標準數據庫搭建，實現設計輸出高質量、高效率
咨詢專家
技術特點
智能化
氣路原理(PID)自動識別，根據輸入自動建模，生成氣路stick&panel；同時配合智能工藝可實現工藝文件一鍵生成，設計&工藝高效協同
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