泵板
PUMP是關鍵部件之一，有助于CVD化學氣相沉積等核心制程的穩定性提高及能耗降低，氣體均勻性直接影響晶圓制程反應。
咨詢專家
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產品特點
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產品參數
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相關方案
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質量管理
產品特點
高精密
高精尺寸的設備零件是半導體芯片特別是納米級芯片制造的基礎
零部件精度直接決定了晶圓制程設備的精度以及其各道工藝處理功能的實現
高潔凈度
高潔凈的設備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎
制程設備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續芯片的良品率，甚至決定了整條生產線是否有合格品產出
氣體流量均勻性
氣體瀏覽量的高精均勻性和高穩定性
可以保證制程穩定性和加工質量，從而提高半導體產品的可靠性和一致性
產品參數
| 材料 | 鋁合金 |
| 連接方式 | 電子束焊接 |
質量管理
富創質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發、設計、過程全生命周期質量管理關注各環節中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。
