核心技術
不銹鋼超高光潔度
制造技術
應用自主設計刀具通過鉆、銑、鉸等精密加工技術,使流道、功能面&密封面實現高面粗度、高硬度的性能要求。
應用不銹鋼鏡面拋光技術,在機械加工的基礎上進一步提高流道面粗度,實現高質量、高效率的復雜工位鏡面拋光。
產品流道內表面粗糙度滿足SEMI標準的同時可達主流國際客戶的更高標準,實現氣體流通最小湍流、紊流,滿足氣體傳輸的快速反應與耐腐蝕要求。
高精密微孔制造技術
通過對材料進行精細控制和加工,可以實現微小孔洞的制造。該技術還可以控制孔洞的形狀、尺寸和表面質量,從而滿足不同應用的需求。
專業高速打孔機臺和AOI檢測設備,用于微孔加工和檢測。
高精密多工位
復雜曲面制造技術
復雜曲面多軸聯動加工技術,滿足大尺寸腔體和多工位一站式加工,同時可提供腔體結構優化、加工方案制定等一體化解決方案。
等離子噴涂技術
等離子噴涂(PS)是使用直流電源驅動,通過陰極與陽極之間產生超高溫度的電弧等離子體,進而瞬間加熱陶瓷等材料形成半熔融化,沉積在基材表面生成涂層的工藝方式。
納米薄膜技術
鋁基氟化
阻止環境中的F plasma與鋁基反應,保證heater加熱均勻性和穩定性
高性能化學鍍鎳技術
化學鍍鎳技術通過國際主流客戶認證,通過提高零件的耐腐蝕性,從而提高零件性能,保證半導體設備的穩定性,為客戶提供鍍膜解決方案
耐腐蝕陽極氧化技術
陽極氧化技術(硬質陽極、硫酸陽極、染色陽極等)通過國際主流客戶認證,通過提高零件的耐腐蝕性,從而提高零件性能,保證半導體設備的穩定性,為客戶提供鍍膜解決方案
高潔凈度精密清洗
技術
高潔凈度精密清洗技術通過國際主流客戶認證,為客戶提供高潔凈清洗方案
激光焊接技術
焊接工藝已通過主流客戶以及AWS激光焊接認證,可實現精密, 復雜, 穩定,重復性好及高質量焊,具有焊接設計能力,為客戶提供有效的焊接方案
電子束焊接技術
德國進口電子束焊接設備,焊接工藝已通過主流客戶以及AWS焊接認證,可實現精密、復雜、穩定、重復性好及高質量焊,具有焊接設計能力,為客戶提供有效的焊接方案。
釬焊焊接技術
在真空釬焊過程中,兩個或多個材料通過一個或多個填充材料(通常是釬料)的中間層連接在一起。這個過程在真空或者接近真空的環境中進行,以減少氧氣和其他雜質的存在,從而防止氧化和其他不良反應。釬料在較低的溫度下熔化,并在材料之間形成堅固的連接。
超潔凈氣體傳輸柜設計技術
我司具有豐富的超潔凈氣體傳輸柜設計經驗,覆蓋80%以上半導體前道工藝干法制程氣體傳輸柜。自主開發智能化設計平臺,顛覆傳統設計模式,使Gasbox設計標準化、模塊化,通過標準數據庫搭建,實現設計輸出高質量、高效率
超潔凈管路焊接技術
我司憑借先進的焊接設備和獨特的焊接工藝,致力于打造出符合并超越半導體行業標準的管道焊接產品
超潔凈氣柜制造技術
我司以建設氣柜全球領先裝配生產線、領先全球半導體氣柜制造模式、提高效率和質量為目的,同時符合氣柜生產工藝標準為原則,自主研發自動生產線,改變了傳統的生產模式,有更好的過程質量控制。
超潔凈氣柜檢測技術
項目提供一站式自動化、信息化平臺,大幅度提高了測試效率和質量,提高檢測效率,領先國內氣體輸送系統功能測試設備。