加熱盤
應用于TF制程中,產品擁有高平面度及潔凈度要求,擁有極高的溫度控制能力,進而影響薄膜的沉積能力。
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產品特點
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相關方案
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質量管理
產品特點
高溫度均勻性
T±(0.5~1)%
電子束焊接、真空釬焊、精密加工
特種涂層
氟化膜層
國內首家具備此鍍膜能力的零部件供應商
高潔凈度
(Particle@0.2um<15ea/cm2)
質量管理
富創質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發、設計、過程全生命周期質量管理關注各環節中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。