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技術(shù)簡介
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應(yīng)用場景
鋁基氟化
阻止環(huán)境中的F plasma與鋁基反應(yīng),保證heater加熱均勻性和穩(wěn)定性
應(yīng)用場景
阻止環(huán)境中的F plasma與鋁基反應(yīng),保證heater加熱均勻性和穩(wěn)定性
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