排氣格柵
應用于ETCH反應腔內，與機臺等離子體直接接觸的核心工藝部件，用于等離子體氛圍中晶圓外側抽氣流向需要保護表面的防護，表面需要高耐腐蝕高潔凈的陶瓷涂層保護。
咨詢專家
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產品特點
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相關方案
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質量管理
產品特點
使用整體高純釔基涂層
內壁陽極氧化，提高產品壽命
使用等離子噴涂技術做高純釔基涂層
具備極高的化學穩定性及耐酸堿耐電壓耐等離子腐蝕的涂層表面技術做防護，使得部件與等離子體直接接觸
涂層原料純度>99.95%
耐擊穿電壓>700V/mil，耐酸腐蝕>3h，結合力>14MPa
質量管理
富創質量管理秉承"好的質量是設計、制造出來的"為原則,關注客戶端到端的質量服務,從研發、設計、過程全生命周期質量管理關注各環節中入口質量、過程質量、出口質量,以保證整體質量可控,最終構建成以以預防為主的質量文化,助力客戶產品更具競爭力。
