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技術簡介
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技術特點
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應用場景
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核心指標
不銹鋼超高光潔度
制造技術
應用自主設計刀具通過鉆、銑、鉸等精密加工技術,使流道、功能面&密封面實現高面粗度、高硬度的性能要求。
應用不銹鋼鏡面拋光技術,在機械加工的基礎上進一步提高流道面粗度,實現高質量、高效率的復雜工位鏡面拋光。
產品流道內表面粗糙度滿足SEMI標準的同時可達主流國際客戶的更高標準,實現氣體流通最小湍流、紊流,滿足氣體傳輸的快速反應與耐腐蝕要求。
技術特點
面粗度
流道Ra<0.1μm
Seal密封面Ra<0.1
01
平面度
<0.02mm
02
Seal密封面硬度
>300HV
03
應用場景