腔體制造測(cè)試解決方案
我司憑借精密加工技術(shù)、?嚴(yán)格的質(zhì)量控制以及全面的性能測(cè)試等優(yōu)勢(shì)，可制造各類(lèi)半導(dǎo)體設(shè)備（光刻設(shè)備、?刻蝕設(shè)備、?薄膜沉積設(shè)備等）的腔體所生產(chǎn)產(chǎn)品以高精密、高潔凈、高密封性、超強(qiáng)耐腐蝕能力、耐擊穿電壓等特點(diǎn)獲得國(guó)內(nèi)外主流客戶(hù)的認(rèn)可。
腔體類(lèi)型：反應(yīng)腔、傳輸腔、裝載腔、大梁、真空腔體等
咨詢(xún)專(zhuān)家
解決結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及加工制造問(wèn)題
依據(jù)客戶(hù)要求，為客戶(hù)提供成本最優(yōu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及匹配的工藝流程、設(shè)備選擇、和制程過(guò)程等
解決性能測(cè)試問(wèn)題
我司可自主進(jìn)行一系列性能測(cè)試、?包括真空度測(cè)試、流量測(cè)試、耐擊穿電壓測(cè)試、潔凈度測(cè)試等，確保反應(yīng)腔能夠滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)的高標(biāo)準(zhǔn)要求
解決產(chǎn)品潔凈度問(wèn)題
我司擁有百級(jí)及千級(jí)無(wú)塵室以及各類(lèi)精密清洗工藝，可用于生產(chǎn)高潔凈產(chǎn)品，同時(shí)擁有微量元素及顆粒檢測(cè)能力，解決腔室內(nèi)部顆粒度和金屬污染超標(biāo)問(wèn)題
